01.产品特点
● 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器
● 传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器
● 小巧·轻便的设计
● 通过LCD显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息
● 采样流量的自动控制功能
● 当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能
● 通过连接PDA，可以获取存储在检测单元中的数据
● 转换器单元（选件）可用于检测NF3和CCl2
● 符合CE标准
● 符合SEMI标准
02.连接方式
03.产品参数
04.对应气体一览表
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